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XDlaser激光干涉儀測量信息
點擊次數(shù)：107 更新時間：2026-01-11
XD Laser系列實現(xiàn)六自由度（6DoF）同步測量，一次采集線性位移、水平與垂直直線度、俯仰角、偏擺角和滾轉(zhuǎn)角六大關(guān)鍵參數(shù)，全面覆蓋機床21項幾何誤差檢測需求，將傳統(tǒng)數(shù)天的測試流程壓縮至數(shù)小時，效率提升80%以上。
精度與穩(wěn)定性是API激光干涉儀的核心競爭力。依托穩(wěn)頻氦氖激光源，其波長穩(wěn)定性優(yōu)于±0.05 ppm，線性測量精度可達±0.5 ppm，角度測量分辨率高達0.01角秒，輕松滿足納米級精密檢測需求。創(chuàng)新的緊湊一體化設(shè)計將所有光學(xué)元件集成于5kg以內(nèi)的輕巧探頭，配合磁性底座可直接固定于機床工作臺，無需拆除護罩和三腳架，多軸切換僅需更換反光鏡即可完成，大幅降低現(xiàn)場部署難度。
該產(chǎn)品已深度融入機床、半導(dǎo)體、汽車制造等關(guān)鍵領(lǐng)域。在機床行業(yè)，通過空間誤差補償技術(shù)可使設(shè)備精度提升至少4倍；在半導(dǎo)體領(lǐng)域，為光刻機、晶圓臺等設(shè)備提供精準測量支持，助力芯片良品率提升；
